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mocvd ppt下载

素材巨细:
5.5 MB
素材授权:
收费下载
素材名堂:
.ppt
素材上传:
lipeier
上传时间:
2019-06-09 10:19:09
素材编号:
232735
素材种别:
课件PPT
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mocvd ppt

这是mocvd ppt,网罗了甚么是MOCVD?ZnO的作用,ZnO性能,MOCVD原理,ZnO的制备,DEZ和H2O气路管结构图,DEZ房,DEZ房请求等外容,迎接点击下载。

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万豪牛牛棋牌 光伏制造工艺和装备简介 MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition ) 金属无机化学气相群集 1. 甚么是MOCVD? 一种应用无机金属热分化回声阻拦气相内在生长薄膜的化学气相群集手艺。 优点:群集温度低、不接纳卤化物质料,是以 在群集中不存在刻蚀回声;合适大量量临盆。 可直接生长出绒面结构的ZnO薄膜,能有用增添入射光的光程,对太阳光谱起到优胜的陷光作用。 弱点:许多无机金属化合物蒸气有毒、易燃; 回声温度低,是以有时在气相中就发生回声。 2. 太阳能电池的制备工艺 ZnO的作用 ZnO性能 结构:六方晶体,每个Zn(锌)原子与四个O(氧 )原子按周围体排布,ZnO薄膜是由不规则晶粒组成的多晶薄膜。 半导体特点:N型宽带隙半导体,Eg=3.36eV ZnO性能 MOCVD原理 将金属无机物气化后,应用载气通入回声室,在回声室内发生化学回声,天生物群集到衬底上组成薄膜。 ZnO的制备 DEZ+H2O → ZnO 气源 泵组 MOCVD系统原理图 群集室 MOCVD装备外不雅不雅图 DEZ 性子 无色液体、与水、空气可发生强烈回声,易燃易爆,对皮肤及眼睛有风险。 对厂房设计、安然要放在首位。浅易厂房分为两层,2楼主要放氮气管、氨气管、空调、排风。1楼放DEZ DEZ房 DEZ房请求: 1.防爆 2.房间内有空调口、排风口、氮气口 3.房间内有掉落火检测器、烟雾检测器 4.自动充填系统下面有通孔及下水道,可使走漏的化学品流到漏液熄灭装配 5.熄灭装配不克不及有水 6.熄灭装配装备排气管、氮气输入管 7.DEZ放配避雷针 DEZ气罐替换 卸气罐 1.确认罐内残余DEZ量 2.关闭气罐所有阀门 3.管道洗濯 4. 撤消划分气罐与管路

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